特徴
- 特許取得済みのマルチステージCOAX®カートリッジ - MINI - Pi、Si、Xiカートリッジ。
- ポンプに流入する空気流量を制御することで空気消費量を最小限に抑える、省エネ機能（piSAVE onoff）を内蔵しています。
- 金属板、ガラスやプラスチックの処理などの、リークの発生しない真空処理用途には、ヒステリシスを大きく調整する事を推奨します。
- 工程において非常に正確な真空度を維持する必要がある場合は、小さなヒステリシスを推奨します。
- ESスイッチレベルの調整が可能です。
- 空気圧機能。